硕士论文题目安排

 

2011级 2012级 2013级
柴进

硅微通道阵列氧化动力学及应力问题研究

刘昕男
硅/HF系统电化学特性研究
谢舒婷 微通道板防离子反馈膜电子透射特性研究
张尧 硅微通道电化学微加工机理研究 吴柯鑫
硅微通道阵列填充保护及化学机械抛光技术研究
崔丹丹 基于硅微通道结构的光学滤波器技术研究
樊书晓 金属粒子催化腐蚀硅的机理研究 彭玲玲
微通道板薄膜打拿极二次电子发射特性研究
王丹 氧化物薄膜纳米叠层工艺及电阻特性研究
于丰源 硅微通道电化学微加工等径控制技术研究 徐雨萌 硅基光子晶体制备及性能研究 翟耘萱 基于纳米薄膜打拿极的微通道板技术研究
韩子怡

氧化物薄膜材料二次电子发射特性研究

寇艳强

硅微通道阵列结构释放与整形技术研究

王云龙

硅微通道电化学刻蚀及工艺仿真研究

梁永照

硅微通道阵列通透结构释放与整形技术研究

    李海斌 硅微通道板化学机械抛光及微通道整形技术研究
李晓娜 半导体电化学微加工系统程控器设计     张翼 硅微通道阵列基体高温氧化及整形技术研究
        于航 硅微结构金属辅助化学刻蚀技术研究
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