文献阅读报告专题及硕士论文选题指南

　

1. 硅微通道板技术（微电子学专业研究重点考虑）
　
* 硅微通道阵列电化学腐蚀加工机理与工艺        * 硅微通道阵列机构释放及整形技术
　
* 硅微通道阵列基体绝缘技术及性能研究          * 硅微通道板打拿极制备技术及性能研究
　
* 硅微通道板制备各工艺环节的建模与模拟仿真    * 硅微通道板制备工艺设备及控制系统
　
2. 基于硅微通道阵列结构的应用技术
　
* X射线波导显示屏技术                         * 基于硅微通道板的MEMS红外源
　
* 基于硅微通道结构的燃料电池技术              * 硅基光子晶体制备及性能研究
　
3. 微光夜视系统性能研究（物理电子学研究生重点考虑）
　
* 多阳极微通道板阵列探测器                    * 微透镜阵列技术（micro-lens-array）
　
* 防离子反馈膜电子透射和散射性能              * 氧化物薄膜二次电子发射机理
　
* 蕅膜打拿极制备与性能                        * 三代微光像增强器相关性能
　
* cross strip anodes detector                 * 三代微光像增强器系统建模与仿真
　
4. 其他
　
* 基于MEMS技术的太阳能电池表面减反层          * 基于多孔硅的光学梳状滤波器研究
　
* 交叉条带阳极驱动专用集成电路设计            * 黑硅技术及应用
　
* 多孔硅及其应用                              * 薄膜打拿极制备技术和性能研究
　
* Metal-assisted Chemical Etching of Silicon
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